Edge AI在半導體製造中的應用:視覺驅動的單晶爐智能控制系統

長晶爐

以晶體生長自動化實現智慧製造

隨著全球半導體產業對晶圓的需求持續攀升,單晶爐的自動化已成為實現「智慧製造」的關鍵環節。為滿足半導體產業對矽單晶生長技術日益提升的需求,生產過程中矽片的直徑大小與晶體生長的自動化程度直接影響產品品質與生產效率。智能化技術的發展使得單晶爐的控制系統必須具備更高的穩定性與精確性,以減少人為干預,提升製程可靠性。

邊緣AI系統在此扮演重要角色,透過即時數據分析與機器學習模型,使單晶爐能夠自動監測與調整溫度、真空度及爐內環境,確保最佳化的晶體生長條件。此外,邊緣AI技術的低延遲特性,更能即時回應突發狀況,降低報廢率,提高生產穩定性。

視覺檢測技術提升單晶爐生長精度

在單晶爐的智能化轉型中,視覺檢測技術已成為不可或缺的一環, 透過整合高解析度攝影機與邊緣AI運算設備,系統能夠即時監控矽晶的直徑、亮度、液口距、晃動狀態等關鍵參數,並由AI模組進行邊緣推論,及早偵測拉晶過程中的不穩定跡象,若發現任何溫度、振動或晶體表面異常,系統能立即透過網路傳輸將警示訊號傳回中央伺服器,並同步通知現場人員自動調整參數,也可透過每一台單晶爐的人機介面手動調整。

「單晶爐自動化」不僅顯著降低人力成本,更能大幅提升生產良率與產能,相較於傳統依賴人工監測的方式,嵌入式視覺檢測系統透過深度學習模型,能自動識別斷線或放肩開叉等異常情況並發出警示,立即調整工藝參數,確保晶體生長的一致性。單晶爐場域內的控制設備需與PLC系統整合,以全面監測並控制生產流程,確保設備的協同運作,這對於及早干預拉晶過程中的問題至關重要,能有效避免後續更大範圍的良率損失。

WEBS-45J1 高效邊緣AI工業電腦助力單晶爐智能化

在單晶爐生長系統中,WEBS-45J1 扮演著關鍵角色,它透過 LAN/POE/USB 等介面,接收來自高畫素攝影機捕捉的晶體生長爐內即時影像數據,系統內部運行著一套先進的視覺監控管理軟體,藉由WEBS-45J1搭載的Hailo-8 AI加速模組所提供高達 26 TOPS的強大AI運算效能,能夠對高解析度影像進行即時的深度學習推理與分析。這使得系統能自動執行複雜的智慧化任務,例如精準量測關鍵生長參數,以及即時識別晶棒生長過程中可能出現的斷線(wire breakage)、放肩開叉(shoulder splitting)等異常情況,並在偵測到問題時立即發出警報,通知操作人員介入。

為了實現單晶爐及其周邊設備的全面整合與協同運作,WEBS-45J1提供了極為豐富的連接介面,除了LAN/POE/USB、傳統工業控制常用的 RS232/RS422/RS485 串列埠外、以及用於網路連接的Ethernet和連接人機介面 (HMI)的HDMI®/USB視覺輸出埠,這些多元的 I/O 確保了系統能無縫串接各類感測器、PLC、控制閥門與網路元件。

為滿足複雜視覺分析與多重任務處理的需求,WEBS-45J1 最高可支援 96GB 的大容量 DDR5 記憶體,其寬電壓輸入範圍 (DC 12-36V) 與寬溫運作能力 (-20°C 至 60°C) 設計,確保了在半導體廠房內嚴苛且多變的工業環境下,系統依然能夠長時間穩定可靠地運行,考量到單晶爐周邊場域普遍存在空間受限的問題,WEBS-45J1 特別採用了緊湊且強固的無風扇散熱結構,不僅節省空間,更能有效避免傳統風扇因長期運轉或粉塵堆積而可能導致的故障停機風險,確保生產不中斷。配合 ANS-9142S 等高效能網路聚合器,進一步擴展其處理能力,支援更大規模的高速影像數據流處理,並可將彙整後的數據上傳至雲端平台,進行更深層次的大數據分析、製程優化與預測性維護。

瑞傳 Portwell DMS 設計製造服務

瑞傳 Portwell 深耕工業電腦領域超過30年,憑藉全球佈局與豐富的客製化經驗,提供從概念設計到量產交付的一站式 DMS(設計與製造服務)。我們聚焦於工業自動化、醫療、通訊等垂直應用,整合嵌入式系統、Edge AI、機器視覺與數據分析等先進技術,協助客戶快速實現智慧製造轉型。

DMS 服務涵蓋客製化主機板、系統整合、韌體開發與軟硬體協同設計,並結合自動化生產、嚴謹品質控管與國際認證,支援小批量試產至大規模量產。瑞傳亦在台灣、美洲、歐洲與亞洲建立據點,透過在地工程團隊與雙向物流支援,強化交付效率與技術響應。

在 AI 與邊緣運算日益重要的趨勢下,瑞傳不僅提供硬體,更攜手生態夥伴打造彈性維運、可擴充的應用平台。從產品開發到 ESG 永續導入,瑞傳致力與客戶共創長期價值,加速邁向工業智慧新世代。